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                主要技術指標
                鍍膜時間設置: 1~9458 sec/ step
                旋涂速度:0~ 5753 rpm
                旋涂加速度:0 ~ 85337 rpm/s (空載)   
                轉速穩定性:1 rpm
                轉速可重復性:1 rpm                                                                                                              
                鍍膜尺寸:φ10 ~ 951 mm                                1
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